Ваш город:
+7(4722) 40-00-02 info.amtorg@gmail.com

Кварцевый измеритель толщины пленки КИТ это электронный прибор для управления процессом напыления (осаждения) плёночных структур и измерения их толщины во время их образования в вакууме.

Назначение

Измеритель толщины пленки КИТ предназначен для измерения толщины плёнки, которая напыляется в вакуумной установке. Применяется как автономный прибор, так и в составе АСУ. Основное применение прибор нашёл на предприятиях электронной промышленности, при изготовлении различного рода датчиков, полупроводниковых приборов и других электронных компонентов, применяется при изготовлении магнитных дисков винчестеров для компьютерной техники.

Конструкция

Прибор собран в прямоугольном металлическом корпусе, на передней панели которого размещён жидкокристаллический цифровой индикатор, клавиатура управления и клавиша включения.

КИТ – это программируемый прибор, благодаря которому выполняется

  • управление испарителями напыляемого материала,
  • контроль процесса напыления,
  • выключение испарителя при достижении уровня требуемого размера толщины полученной плёнки с формированием управляющего сигнала по окончании процесса.

Прибор обычно имеет настройку на работу с 10 материалами, для формирования 3-х плёнок, состоящих из нескольких слоёв (до 10). КИТ способен работать с разными типами испарителей. При работе прибора в автономном режиме (не в составе автоматизированной системы) КИТ выполняет программу, записанную в его память оператором. Весь процесс фиксируется на жидкокристаллическом индикаторе. Управление КИТ возможно с местной клавиатуры либо через интерфейс с помощью ПК.

В основу работы прибора по измерению толщины, напыляемой плёнки положен принцип измерения частоты кварцевого резонатора, помещённого в зону напыления рядом с изготавливаемыми изделиями. В процессе образования плёнок меняется масса кристалла кварца и соответственно его резонансная частота, по измерению которой и вычисляется толщина осаждаемых в вакууме плёнок. Для получения плёнок требуемой толщины с высокой точностью, применяется охлаждение кварцевого датчика.

Измеритель толщины пленки КИТ качественно выполнит свои функции

Подача напряжения (требуемое питание)

220 Вольт

Затрачиваемая энергия на работу

6 Ватт

Частотная способность разрешения

1 Герц

Число программируемых

слоёв

10

плёнок

3

материалов

10

Интерфейс связи

RS232

Частота, МГц

Измерение в работе 4…10 единиц

Условия эксплуатации

0 ÷ +50 ˚С, влажность до 85 % при +20 ˚С

Разрешающий размер способности

Толщина 0,1 нм

Период измерения

1 с

Плотность напыляемого материала

Промежуток 0,1 ÷ 9,99 г/см3

Размер прибора

110х130х260 мм

Внешний сигнал запуска

Диапазон 3,5…12 В

Толщина напыляемого материала

Промежуток 0,1 ÷ 999,9 нм