Ваш город:
+7(4722) 40-00-02 info.amtorg@gmail.com

Универсальный вакуумный пост ВН-3000 – специализированная научно-техническая установка, вакуумный пост. Отличается от аналогов широкими диапазонами регулировки рабочих параметров, низким собственным энергопотреблением и относительно компактными габаритами.

Назначение

Установка ВН-3000 используются для выполнения различных исследовательских и производственных работ в области распыления металлов, диэлектриков и полупроводников, осуществляемого двумя типами магнетронов. Кроме того, установка обеспечивает возможность проведения операций термического испарения или ионного травления посредством эл.лучевого испарителя, а также прибора нагрева и осаждения.

Вакуумный пост — это высокоинтеллектуальный исследовательский комплекс, включающий две стойки (аналитическая и электрическая), соединенные комплектом кабелей. Электрическая стойка включает комплект блоков питания, распределительный блок, плату управления и разъем для подключения ноутбука. Аналитическая стойка состоит из рабочего объема, системы обеспечения вакуума, турбомолекулярного насоса, системы охлаждения, вспомогательных систем и комплекта исследовательского оборудования. Конструкция и функционал установки предполагает возможность подключения кварцевого измерителя толщины.

Интернет представляет продукт как

Вакуумный пост ВН-3000

Тип устройства

Вакуумный пост, универсальный, автоматизированный

Тип используемых магнетронов

Марка RF и марка DC

Диапазон регулировки размера мощности устройства питания рабочего магнетрона марки  RF, Вт

От 0 до 500,0

Диапазон регулировки напряжения на выходе высоковольтного блока питания, кВ

От 0 до 4,0

Диапазон регулировки тока на блоке питания магнетрона типа DC, мА

От 0 до 1000,0

Напряжение на блоке питания магнетрона типа DC без подключения нагрузки, максимум, кВ

1,2

При ионном травлении или очистке, устройство требует подачу тока, мА

100,0

Питающее устройство, требует к себе ток, чтобы работать с катодом испарителя, А

20,0

Пучок в электронно-лучевом испарителе издает ток, мА

200,0

Температура нагрева в районе подложки механизма осаждения и механизма  нагрева, минимум, °С

300,0

Время нагрева подложки механизма осаждения и механизма нагрева до температуры 300 °С, максимум, мин.

30,0

Частота вращения подложки, об/мин

От 5 до 15

Предельное остаточное давление в рабочем объеме

 установки, максимум, Па

2*10-3

Время снижения рабочего объема от общего давления природы до давления номинального размера, максимум, мин.

45,0

Диапазон индикации размера давления среди рабочего объема установки, Па

от 1,0*105 до 1,0*10-4

Диапазон допустимого диаметра мишени, мм

от 42,0 до 104,0

Габаритные характеристики (размер) установки, мм:

 - аналитическая стойка

 - электрическая стойка

 

1620х900х610

2160х600х600

Общее весовое значение установки

420,0 килограмм