Ваш город:
+7(4722) 40-00-02 info.amtorg@gmail.com
Нет фото

Микроскоп-микроанализатор РЭММА-2000

Растровый электронный микроскоп-микроанализатор РЭММА-2000 является универсальным инструментом проведения исследований в различных промышленных, научных и гражданских областях, в том числе, в:

  • материаловедении,
  • машиностроении,
  • полупроводниковой электронике,
  • микроэлектронике,
  • геологии,
  • химии,
  • медицине и др.

Назначение

Использование этого микроскопа-микроанализатора позволяет неразрушающим рентгеноспектральным методом:

  • определять топографические параметры поверхности физических объектов, находящихся в твердом состоянии,
  • определять качественно-количественные параметры элементного состава исследуемых материалов,
  • прогнозировать технико-эксплуатационные параметры металлических сплавов,
  • определять связи между свойствами и составом материалов,
  • проводить изучение кристаллических структур,
  • выявлять дефектные участки в металлических и биологических материалах.

Устройство и работа

Функционал микроскопа-микроанализатора РЭММА-2000 объединяет растровую электронную микроскопию и рентгеновский микроанализ.

Конструктивно прибор состоит из:

  • оптико-электронного узла (содержит электронную пушку, двухлинзовый конденсор, привод апертурной диафрагмы, линзу объектива, отклоняющую систему, шлюзовый модуль, камеру образцов, модуль шлюзования, механизм перемещения объектов),
  • вакуумного узла (содержит диффузионные насосы, азотные ловушки, вакуумный демпфер, пульт ручного управления, съемные заглушки),
  • видеоустройства (выполняет оцифрование, накопление, отображение результатов исследований, распечатку изображений, компенсацию искажений изображения и т. д.),
  • узла рентгеновского микроанализа,
  • контрольных образцов (обеспечивают тестирование рабочих режимов прибора).

Для управления микроскопом-микроанализатором с помощью ПК предназначено специальное встроенное ПО.

Заводское название для клиента

Микроскоп-микроанализатор РЭММА-2000

Микроскоп сделан с разрешением

5 нм (режим ВЭ)

Интервал изменения увеличения

Минимум 10 крат

Максимум 300 000 крат

Интервал изменения ускоряющих напряжений

Диапазон 0,2…40 кВ

Шаг изменения ускоряющих напряжений

50 В в интервале (0,2÷5) кВ

1 кВ в интервале (5÷40) кВ

Стабильность ускоряющего напряжения 20кВ

не хуже 0,00001/10 мин.

Анализируемые элементы (метод волновой дисперсии)

₄Be÷₉₂U

Разрешение на линии Cu Ka (метод кристалл-дифракции)

<0,0055

Разрешение на линии Mn Ka (энергодисперсный рентгеновский микроанализ)

<143 эВ

Анализируемые элементы (метод энергодисперсии)

₅B÷₉₂U

Колонное давление

<1,33мПа

Длительность понижения давления до 6,7мПа

Около 0,5 часа

Длительность шлюзования

300 секунд

Диаметр устанавливаемого объекта

100 мм

Диапазон перемещения объекта по осям X и Y

± 5 см

Шаг перемещения объекта по осям X и Y

0,5 мкм

Точность позиционирования объекта по осям X и Y

±1 мкм

Диапазон перемещения объекта по оси Z

4 см

Шаг перемещения объекта по оси Z

2 мкм

Угол вращения объекта

360°

Угол наклона платформы

(-20÷+48)°

Питающее трехфазное (50Гц) напряжение

(178÷222) В

Мощность потребления электроэнергии

<3,5 кВА

Сопротивление заземляющего контура

<4 Ом

Водопотребление (за минуту)

3,5 литра

Давление водоснабжения

3…5 кгс/кв.см

Температура воды

(+15÷+25) °C

Количество штуцеров

2 (подводящие)

2 (сливные)

2 (воздушные выхлопные)

Площадь помещения

>20 кв.м

Рабочая температура воздуха

(+15÷+25) °C

Рабочая внешняя влажность

(50÷80)%

Допустимая мощность внешнего электромагнитного поля

<0,3 мкТ

Минимальная ширина входного проема

1 метр 20 см

Размер каждой отдельной части

770х970х1735 мм (каркас, колонна, вакуумный модуль)

780х800х1400 мм (видеоустройство)

750х560х500 мм (модуль электропитания)

170х290х555 мм (откачивающий форнасос)

Масса полная

1 тонна 300 килограмм