Ваш город:
+7(4722) 40-00-02 info.amtorg@gmail.com

Микроскоп РЭМ-106

Растровый электронный микроскоп РЭМ-106 является исследовательским измерительным прибором.

Назначение

Использование микроскопа позволяет выполнять исследования в различных научно-промышленных областях, в том числе:

  • материаловедческих,
  • нанотехнологических,
  • физических,
  • химических,
  • геологических,
  • микроэлектронных,
  • биологических,
  • медицинских и т. п.

В процессе исследований обеспечивается определение линейных размеров объектов в субмикронном диапазоне и массового содержания в них отдельных элементов.

По требованию заказчика микроскоп может быть укомплектован:

  • камерой низкого давления,
  • ЭДС.

Устройство и работа

Конструкция микроскопа обеспечивает:

  • высокую скорость и точность определения линейных размеров,
  • реализацию рентгеновского микроанализа, обеспечивающего количественное определение элементарного состава объекта,
  • получение высококачественных изображений объектов, обладающих электропроводящими и диэлектрическими свойствами, по электронно-оптической технологии без проведения специальных подготовительных мероприятий (применяются режимы отраженных электронов (ОЭ) и вторичных электронов (ВЭ)),
  • виброустойчивость,
  • компьютеризированное управление механическими, вакуумными, оптико-электронными и энерго-дисперсионными системами,
  • визуализацию, хранение и документирование результатов анализа,
  • компьютеризированное определение и отображение параметров рабочего режима.

Также в микроскопе реализована калибровка и поверка с помощью комплекта тестовых образцов:

  • оптико-электронного увеличения,
  • метрологических параметров,
  • разрешения в режимах ВЭ/ОЭ,
  • микроаналитической системы.

В конструкции микроскопа имеется:

  • вакуумный модуль, функционирующий в высоковакуумном и низковакуумном режиме,
  • оптико-электронный модуль, обладающий системой защиты от электромагнитных воздействий,
  • линза объектива, оснащенная разделительными диафрагмами.

Изделие (название Укрросприбор)

Электронный микроскоп РЭМ-106

Разрешение изделия

4 нм (режим ВЭ)

6 нм (режим ОЭ)

Размер изображения

(1280х960) пикс.

Регулировочный интервал по давлению в камере

(1÷270) Па

Интервал ускоряющих напряжений

(0,5÷30) кВ

Интервал регулировки по увеличению

15х÷300000х

Верхний предел по размеру объекта

5 см

Интервал перемещения объекта по осям X и Y

±2 см 5 мм

Интервал перемещения объекта по оси Z

50 мм

Интервал наклона объекта

(-20÷+60)°

Интервал поворота объекта

360°

Длительность замены объекта

300 секунд

Измерительный интервал по линейным размерам

(0,2÷5000) мкм

Измерительная погрешность по линейным размерам объекта

±40 нм в интервале (0,2÷0,8) мкм

±4 нм в интервале (0,8÷5000) мкм

Анализируемые элементы

₅B÷₉₂U (режим ВЭ)

₁₂Mg÷₉₂U (режим ОЭ)

Разрешение ЭДС

139 эВ

Измерительная погрешность

(±4÷±50)%

Питающее однофазное (50/60Гц) напряжение

220В

Мощность потребления электроэнергии

2,5 кВА

Размер микроскопа

1 м 5 см х 1м 85 см х 2 м 10 см

Масса комплектации

685 кг