Испаритель ЭЛИ

Электронно-лучевой испаритель ЭЛИ – специализированное научно-техническое устройство, выполняющее роль электронно-лучевого испарителя. Отличительными чертами данного оборудования являются компактные габариты, низкое собственное энергопотребление, ремонтопригодность, высокая скорость испарения и повышенный эксплуатационный ресурс.

Назначение

Установка типа ЭЛИ используется в качестве составной части различного научно-исследовательского оборудования и обеспечивает выполнение операций по испарению различных материалов или полупроводников в условиях вакуума.

Испаритель типа ЭЛИ представляет собой устройство, монтируемое в основание вакуумной камеры через установочное отверстие. Рабочий пучок формируется за счет катода и анода, смонтированных в магнитной установке. Скорость испарения зависит от мощности пучка и расстояния между источником пучка и подложкой. В комплект поставки устройства входит сам испаритель, блок питания и поворотная заслонка с экраном.